Денисова Ю. А. , Овчинников С. В. , Денисов В. В. , Савчук М. В. , Савостиков В. М. , Леонов А. А. «Влияние условий осаждения на свойства многослойных покрытий на основе нитридов Zr, Ti, Al и Si, синтезированных плазменно-ассистированным катодно-дуговым напылением» // Известия вузов. Физика 2021. №12 C.43-48